http://ir-heat-beam.com/fa/tags/trolley/ Recent content in Trolley on Focused IR Heating Beams Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/fa/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/fa/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="گرمکن واگن اتاق پاکسازی نیمههادی"></p> <p>در فرآیند پختن فوتورزیست، حتی انحراف نیم درجه‌ای در دما نیز می‌تواند باعث خروج ابعاد مهم محصول از محدوده استانداردها شود. همچنین، سرعت کند خشک شدن ویفر، زمان فرآیند را طولانی می‌کند و احتمال آلودگی سطحی را افزایش می‌دهد. به همین دلیل، ما از هیترهای مناسب برای اتاق‌های تمیز در این دستگاه استفاده کرده‌ایم تا تغییرات ناخواسته در فرآیند کاهش یابد.</p> <p><strong>معیارهای طراحی این دستگاه</strong><br> ما این هیتر را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که در چارچوب محدودیت‌های حرارتی نیمه‌هادی‌ها عمل کند. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری این دستگاه نیز به لطف حلقه کنترل دقیق، تضمین می‌شود. عنصر گرمایشی این دستگاه از نوع مادون قرمز کوتاه‌موج است؛ بنابراین پاسخگویی سریعی دارد و توزیع انرژی نیز یکنواخت است. بدنه این دستگاه نیز برای استفاده در اتاق‌های تمیز مناسب است؛ یعنی درزهای بسته‌بندی شده دارد و هیچ ذره‌ای از آن خارج نمی‌شود. میزان مصرف انرژی نیز کاهش می‌یابد، زیرا گرما در صورت نیاز تأمین می‌شود، نه از یک محفظه بزرگ. زمان کارکرد این دستگاه نیز بسیار بالاست؛ این دستگاه‌ها می‌توانند ۲۴/۷ کار کنند، و نیازی به تعمیرات مداوم نیست.</p>