Prévention de la contamination des wafers grâce à une conception sécurisée de lampe infrarouge UHP

Thu, 10 Sep 2026 17:17:49 +0800

Arrêter le désordre : Gérer la contamination par des particules dans les systèmes de chauffage UHP Dans un système à forte charge, la rupture d’une lampe n’est pas simplement un problème mineur ou une interruption temporaire du fonctionnement. C’est une véritable catastrophe. Lorsqu’un tube en quartz se brise, il cesse de fonctionner, mais en même temps, il projette des éclats de verre et des particules sur la surface de la wafer. Résultat : votre taux de production chute, et vous devez nettoyer entièrement la chambre de traitement. C’est un vrai cauchemar. Comment éviter ces ruptures Nous concevons nos lampes UHP pour qu’elles puissent résister aux contraintes extrêmes. Les cycles thermiques sont très intenses, c’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté. Nous utilisons également un système de cycle halogéen spécifique. Pourquoi ? Parce que cela empêche le tungstène de s’évaporer et de ternir les parois du tube. Lorsque les parois restent propres, la chaleur est distribuée uniformément. Pas de points chauds, pas de tensions localisées… et surtout, aucune rupture. Mais nous ne nous fions pas seulement à la résistance du verre. Nous utilisons également un système de double encapsulation. La lampe est placée à l’intérieur d’un manchon en quartz de haute qualité. Si le filament intérieur se brise, le manchon extérieur retient tous les débris. Ainsi, votre silicium reste propre. Gérer la chaleur Les lampes à haute puissance génèrent une quantité incroyable de chaleur. Si votre système de refroidissement ne parvient pas à gérer cette chaleur, les extrémités de la lampe vont surchauffer. C’est généralement à ce moment-là que les joints se détériorent. Pour lutter contre cela, nous avons renforcé les joints afin que les gaz restent à leur place. Un petit conseil : veillez à régler la température progressivement. Si vous changez trop rapidement la température, vous exercez une pression mécanique excessive sur le quartz. Utilisez un contrôle PID précis et ralentissez le processus. Vos lampes dureront bien plus longtemps. Installation facile Ces lampes peuvent être remplacées facilement par des lampes UHP standards. Pas de problèmes. Nous utilisons des connecteurs précisément fabriqués, car un bon contact électrique est essentiel. Si une connexion est mal sécurisée, cela peut provoquer des étincelles. Cela endommage les électrodes et raccourcit considérablement la durée de vie de la lampe. Vérifiez également votre alimentation électrique. Si la tension varie beaucoup, vous risquez que le filament se brise. Maintenez une tension stable, et vous passerez beaucoup moins de temps à remplacer les lampes.

Quartz on Ciblé chauffage IR faisceaux

Prévention de la contamination des wafers grâce à une conception sécurisée de lampe infrarouge UHP