http://ir-heat-beam.com/fr/tags/rtp/ Recent content in RTP on Focused IR Heating Beams Hugo fr Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/fr/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/fr/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lampe halogène pour système RTP"></p> <p>Sur le plancher de fabrication, la dérive thermique lors du traitement thermique rapide grève le budget thermique, et les profils du photo-résist commencent à s’effondrer. L’uniformité au niveau du wafer n’est pas un simple indicateur académique : c’est la ligne de démarcation entre une production rentable et une caisse de rebut.</p> <p><strong>Ce qui compte réellement en interne</strong><br> Nous spécifions des lampes halogènes pour le RTP avec une sortie à <a href="https://o-yate.com">ondes</a> courtes et une enveloppe en quartz parce qu’elles chauffent le wafer rapidement, efficacement et de manière répétable. On peut maintenir une uniformité au niveau du wafer à ±0,1°C, et la température reste stable même lorsque la ligne fonctionne 24/7. La géométrie du filament et le chemin du réflecteur sont ajustés pour que le <a href="https://goldisgood.com">profil</a> thermique reste constant lot après lot. C’est ainsi que le précuisson douce et la cuisson dure respectent la recette, plutôt que de suivre la dérive de l’équipement.</p>