http://ir-heat-beam.com/he/tags/%D7%A0%D7%99%D7%A8/ Recent content in (ניר) on Focused IR Heating Beams Hugo he Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מייבש שבבים באור אינפרה אדום קרוב (NIR)"></p> <p>בקו הייצור של 300 ממ, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק שלב תרמי נוסף – זו בעצם הבטחה לשליטה בממדים. אם תהליך החימום יסט אפילו במעט מהטווח של ±0.1°C, השליטה בממדים הקריטיים תיהרס. כיריים רגילות מקשות על שמירה על עקביות בקצוות הוואפר, ותנורים קונבקטיביים גורמים לחדירת לכלוך לתהליך. בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, יצירת חלקיקים וזמני עצירה בלתי צפויים עלולים לגרום לאובדן שלמות המוצרים.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> בנינו את מייבש הוואפר באמצעות קרינת אינפרא-אדום קרובה – חימום ישיר, ללא זרימת אוויר. התוצאה היא עקביות בטמפרטורה של הוואפר בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך הייצור, וטמפרטורת הפוטורזיסט נשארת יציבה בתוך שניות. אין זרימת אוויר, כך שאין חלקיקים. התא סגור לחלוטין, כך שהדבר היחיד שנוגע בוואפר הוא הוואפר עצמו.</p>