http://ir-heat-beam.com/he/tags/%D7%A4%D7%A8%D7%95%D7%A1%D7%AA-%D7%A1%D7%99%D7%9C%D7%99%D7%A7%D7%95%D7%9F/ Recent content in פרוסת סיליקון on Focused IR Heating Beams Hugo he Sun, 07 Jun 2026 03:57:08 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/mems-wafer-drying-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:57:08 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="מערבל חימום לייבוש וויפר MEMS"></p> <p>Back on the line, לוחית MEMS רטובה יוצאת מתהליך הניקוי וממתינה. התחנה הבאה — ציפוי פוטורזיסט, אפייה רכה וייבוש נקי — אינה סובלנית לשינויי טמפרטורה. פגעו בשטח נקודתי חם של 1°C ושליטת רוחב הקו הופכת לבלתי יציבה. בנינו את מחמם הייבוש ללוחית MEMS כדי להוציא את אי-הוודאות הזו לפני שהיא מגיעה לערמת הליתוגרפיה.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת לפני השטח</strong><br> תכננו את המערכת לשוויוניות יציבה של ±0.1°C במצב יציב על פני מישור הלוחית. פוטורזיסט רגיש במידה כזו שכל מדרג טמפרטורה מהווה סיכון ישיר לתפוקה. גוף החימום משתמש בקרינה אינפרא-אדומה בגל קצר להזרמת אנרגיה בפיצוצים מהירים ובלתי-מגעיים, כך שההשהיה התרמית והסטיות בהפעלה קרה נמוכות. קוורץ וחומרים תואמים לחדר נקי מונעים למעשה יצירת חלקיקים, ומתאימים להפעלה בסביבות Class 1–100. ניתן לשחזר את התהליך כך שמאזן האנרגיה התרמי נשמר מחזור אחרי מחזור—ללא סטיות בפרופיל האפייה בין סבבות.</p>