http://ir-heat-beam.com/he/tags/trolley/ Recent content in Trolley on Focused IR Heating Beams Hugo he Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/he/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="חיממן לחדרי ניקוי של חומרים מוליכים למחצה"></p> <p>בתהליך האפייה של הפוטורזיסט, סטייה של חצי מעלה בטמפרטורה יכולה לגרום לכך שהממדים הקריטיים של השבב לא יעמדו בדרישות. תהליך איטי של ייבוש השבב מאריך את זמן העיבוד ופותח אפשרות לזיהום של השטח. לכן אנו משתמשים בחיממן שנמצא בחדר הנקי – כדי להפחית את השונויות בתהליך.</p> <p><strong>על מה אנו מבססים את העיצוב שלו</strong><br> עיצבנו את החיממן כך שיתאים לדרישות התרמיות של תהליכי ייצור השבבים. אנו שומרים על אחידות טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח השבב, והאחידות נשמרת בזכות מעגל בקרה מדויק שמעקב אחר הטמפרטורה הרצויה. רכיב החימום הוא מסוג אינפרא-אדום, כך שהתגובה מהירה והחלוקה של החום אחידה. המעטפת של החיממן מתאימה לשימוש בחדרים נקיים – עם חיבורים סגורים, ללא פליטת חלקיקים – לסביבות מסוג Class 1–100. ההספק, המתח והממדים של החיממן תואמים את אלו של עגלות העיבוד הסטנדרטיות, כך שהשילוב שלו בתהליך אינו דורש עבודה נוספת.</p>