ड्रेयर-वह-यं on केंद्रित IR हीटिंग किरण-पुंज

डिजिटल इन्फ्रारेड ड्रायर कंट्रोलर

Mon, 20 Jul 2026 11:41:13 +0800

टूटने से बचाएं: अपने वेफरों को स्वच्छ एवं ड्रायरों को सुरक्षित रखें

यदि आपने कभी उच्च उत्पादन दर के दौरान इन्फ्रारेड लैंपों में खराबी होते हुए देखा है, तो आपको पता होगा कि यह कितनी भयावह स्थिति होती है। एक पल पहले सब कुछ ठीक रहता है, और अगले ही पल क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं धातुओं के टुकड़े वेफरों पर गिरने लगते हैं।
यह तो पूरी तरह से विनाशकारी स्थिति है। आपको न केवल एक वेफर ही नष्ट हो जाता है, बल्कि दूसरे वेफरों पर भी दूषण फैल जाता है, जिससे पूरा उत्पादन नष्ट हो सकता है। हमने इस समस्या को रोकने हेतु बहुत समय लगाया है।

निकट इन्फ्रारेड (NIR) वेफर ड्रायर

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

300 मिमी लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया केवल एक सामान्य तापीय प्रक्रिया ही नहीं है; बल्कि यह तो आकार-संबंधी नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यदि “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान में ±0.1°C से भी थोड़ी भी विचलन हो जाए, तो आपका आकार-नियंत्रण पूरी तरह विफल हो जाता है। पारंपरिक हॉटप्लेटों में वेफर की सतह पर तापमान-नियंत्रण में कठिनाइयाँ होती हैं, जबकि कंवेक्टिव ओवनों से हवा में मौजूद कण वेफर तक पहुँच जाते हैं। क्लास 1–100 क्लीनरूमों में कणों का उत्पादन एवं अप्रत्याशित रुकावटें मिनटों में ही नुकसान पहुँचा सकती हैं… बल्कि पूरे उत्पादन-चक्र में ही नुकसान होता है।

DNS (स्क्रीन) वेफर ड्रायर लैंप

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

लिथोग्राफी फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक में 1°C का परिवर्तन “छोटी गलती” नहीं है। यह एक उपज हिट है, साफ और सीधा। आप देख सकते हैं कि वेफर्स ट्रैक से किनारे की बीड, लाइनवाइड स्प्रेड या सॉल्वेंट के साथ निकलते हैं जो कभी पूरी तरह से साफ नहीं हुआ—अवशेष जो बाद में एक दोष के रूप में सामने आता है। आपको एक हीट सोर्स की आवश्यकता है जो पूरे वेफर को एक थर्मल बॉडी के रूप में ट्रीट करे, न कि गर्म और ठंडे स्थानों के पैचवर्क के रूप में।

इन्फ्रारेड प्रिसिजन: सब-मिलिमीटर यूनिफॉर्मिटी, रीपीटेबल

DNS स्क्रीन वेफर ड्रायर लैंप को नियंत्रित निकट-इन्फ्रारेड (NIR) हीटिंग के चारों ओर बनाया गया है, जिसे वेफर प्लेन के पार सब-मिलिमीटर यूनिफॉर्म थर्मल फील्ड प्रदान करने के लिए ट्यून किया गया है। व्यावहारिक रूप से, इसका अर्थ है कि फोटोरेसिस्ट तापमान केंद्र से किनारे तक सुसंगत है, ताकि सॉफ्ट बेक सॉल्वेंट को समान रूप से हटा सके और हार्ड बेक रिसिस्ट प्रोफाइल को लॉक कर दे—बिना रीफ्लो या स्कमिंग के। यह प्रणाली लॉट-से-लॉट और शिफ्ट-से-शिफ्ट पुनरावृत्ति को बनाए रखती है, ताकि आपका क्रिटिकल डाइमेंशन (CD) प्रदर्शन वातावरण की स्थिति बदलने पर भटक न जाए। लैंप का आउटपुट लंबे रन के दौरान स्थिर रहता है, और डिज़ाइन कण उत्पादन को लगभग शून्य पर रखता है—जब आप क्लास 1–100 क्लीनरूम में काम कर रहे होते हैं तो यह बिल्कुल आवश्यक है।