Mempertahankan Kebersihan Ruang Kerja Kelas 100 yang Maksimal Jika Anda sedang mengeringkan wafer sensor MEMS, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya situasi ini: sekadar adanya serbuk debu sekecil apa pun di permukaan wafer sudah cukup untuk merusak keseluruhan wafer tersebut. Hal ini sangat mengecewakan. Masalahnya adalah, sebagian besar elemen pemanas biasa justru menciptakan partikel-partikel kecil yang tidak diinginkan di tempat-tempat yang seharusnya bersih. Kami memecahkan masalah ini dengan menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu ini tidak mengeluarkan partikel apa pun, dan tidak melepaskan zat-zat logam yang dapat merusak permukaan wafer. Dengan demikian, proses produksi tetap berjalan secara optimal. Mengapa Kuarsa Sangat Penting Kami menggunakan bahan kuarsa khusus agar sumber panas tidak merusak permukaan wafer. Kaca biasa tidak mampu menahan panas; kaca tersebut akan retak atau melepaskan komponen organik volatil yang merugikan. Kuarsa mampu menahan tekanan termal tanpa retak. Selain itu, radiasi inframerah dapat menembus lapisan cairan di permukaan wafer dan menguapkannya. Tidak perlu ada kontak fisik sama sekali. Ini merupakan cara tunggal untuk memastikan struktur MEMS tetap utuh. Menentukan Suhu Pemanasan yang Tepat Untuk mengeringkan wafer dalam beberapa detik saja, diperlukan kuasa pemanasan yang tinggi. Kami menyesuaikan daya dan tegangan filamen agar suhu pemanasan sesuai dengan kondisi kimia wafer tersebut. Namun, ada risiko bahwa tabung pemanas akan menjadi sangat panas di bagian ujungnya. Jika sistem pendinginan tidak berfungsi dengan baik, tabung tersebut bisa rusak. Ini merupakan tantangan yang perlu diatasi. Menggunakan Lampu yang Tepat Kami mendesain lampu ini agar mudah diganti. Waktu henti produksi sangat merugikan, jadi kami membuat proses penggantian lampu menjadi lebih mudah. Baik menggunakan konektor R7 maupun SK, lampu ini tetap cocok digunakan. Hal ini penting karena setiap celah kecil pun dapat menyebabkan oksidasi di titik kontak. Perhatikan juga siklus kerja lampu tersebut. Jika arus listrik menurun, segera ganti lampu tersebut. Lebih baik melakukannya sesuai jadwal yang telah ditentukan, daripada harus menghadapi masalah lampu yang rusak dan kebocoran vakum di ruang pengeringan.