Mengatasi Masalah “Dinding Panas” pada Proses Pencucian Wafer di Industri Semikonduktor
Jika Anda pernah bekerja di bidang pemrosesan semikonduktor secara basah, pasti Anda tahu betapa sulitnya situasinya. Anda perlu memanaskan wafer selama proses pencucian, tetapi Anda tidak ingin bagian luarnya menjadi terlalu panas.
Pemanas tradisional sebenarnya merupakan bola lampu yang memancarkan panas ke segala arah. Hal ini menyebabkan dinding bagian dalam mesin menjadi sangat panas. Ini merupakan pemborosan energi, dan tentu saja, hal ini juga berbahaya bagi orang-orang yang bekerja di dekat mesin tersebut.
Kami menemukan cara yang lebih baik: penggunaan lampu inframerah berarah.
Cara kerjanya
Lampu inframerah biasanya memancarkan radiasi ke segala arah, yaitu 360 derajat. Kita tidak menginginkan hal tersebut. Sebagai gantinya, kita menggunakan emitor gelombang pendek yang dikombinasikan dengan reflektor khusus.
Gelombang inframerah pendek sangat efektif karena dapat menembus cairan pencuci dan langsung mengenai permukaan wafer. Dengan mempersempit arah pancaran panas tersebut, kita dapat memastikan bahwa energi panas tersebut mengenai titik yang tepat. Dengan demikian, suhu wafer akan naik sesuai kebutuhan, sementara bagian luar mesin tetap dingin.
Mengatasi masalah kotoran
Proses pencucian tentu saja melibatkan air, dan air serta listrik bukanlah kombinasi yang baik. Untuk mencegah terjadinya korsleting, kami menggunakan penutup tahan air pada kontak listrik. Tanpa penutup tersebut, kelembapan akan merusak terminal listrik, sehingga mesin bisa rusak. Kami juga membungkus semua komponen mesin dengan bahan kuarsa. Bahan ini cukup kuat untuk menahan uap kimia dan percikan air.
Bagian yang sulit
Semuanya tidak semudah sekadar menyambungkannya saja. Karena kita memfokuskan seluruh panas pada satu titik, presisi sangat penting. Jika posisi lampu sedikit menyimpang, maka akan terbentuk titik-titik panas pada wafer. Itu merupakan masalah besar.
Selain itu, meskipun dinding mesin tetap dingin, lampunya sendiri akan menjadi sangat panas. Anda tidak boleh mengabaikan hal ini. Jika kipas pendingin atau sistem pendingin lainnya tidak berfungsi dengan baik, maka lampu tersebut akan cepat rusak.
Solusi terbaik adalah menggunakan kontroler PID. Alat ini dapat menjaga suhu tetap stabil. Dengan demikian, wafer akan tetap dalam kondisi yang baik, peralatan tetap dingin, dan para operator pun dapat bekerja dengan nyaman.