Suku cadang peralatan fabrikasi profesional

Thu, 02 Jul 2026 09:03:10 +0800

Di lantai produksi, perubahan suhu saat proses pemanasan tidak ditunjukkan melalui peringatan khusus. Perubahan tersebut justru terlihat dalam bentuk variasi lebar garis gambar, masalah adhesi, serta penurunan kualitas produk secara bertahap. Ketika oven atau modul lampu tidak berfungsi sebagaimana mestinya, profil fotorezist akan terganggu, dan selektivitas proses etching pun akan menurun. Stabilitas termal merupakan hal yang tidak bisa dikompromikan; Anda harus mengendalikannya, atau proses produksi akan terganggu.

Yang penting secara teknis
Kami menggunakan modul termal cadangan yang memiliki elemen pemanas dengan emisi panas yang terkendali, serta lampu yang memiliki panjang gelombang yang sesuai. Dengan demikian, keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer dapat dipertahankan pada kisaran ±0,1°C. Hal ini sangat penting, karena proses pemanasan yang tepat akan mempengaruhi viskositas fotorezist dan membantu menghilangkan zat pelarutnya. Sementara itu, proses pemanasan yang lebih intensif akan meningkatkan daya rekat dan ketahanan terhadap proses etching. Keseragaman suhu yang tinggi akan mengurangi efek refleksi cahaya, sehingga dimensi kritis produk tetap terjaga. Struktur modul ini juga mampu meminimalkan pembentukan partikel, sehingga cocok digunakan di ruang kerja bersih kelas 1–100. Repeatabilitas proses juga terjaga, sehingga proses litografi dan etching tetap berada dalam batas spesifikasi yang ditentukan.

Profesional on Focused IR Heating Beams

Suku cadang peralatan fabrikasi profesional