Lampada per la cottura delle resine a UV profondo (DUV)

Fri, 26 Jun 2026 05:13:34 +0800

Nel campo della litografia, si impara in fretta: un profilo di essiccazione troppo blando o troppo intenso può causare problemi sorprendenti. Anche una deviazione di mezzo grado può far sì che le dimensioni critiche del wafer non siano più rispettate; inoltre, la presenza di particelle può trasformare un wafer buono in uno inutilizzabile, senza che se ne accorga nessuno. La lampada per l’essiccazione del fotoresist a luce UV serve proprio per eliminare questa incertezza legata al processo termico.

(DUV) on Focused IR Heating Beams

Lampada per la cottura delle resine a UV profondo (DUV)