Lampada a infrarossi senza ozono

Mon, 29 Jun 2026 07:16:59 +0800

Nella fase di litografia, anche un cambiamento di temperatura di soli mezzo grado può causare variazioni delle dimensioni critiche dell’oggetto trattato, di pochi nanometri. Non si tratta semplicemente di calore: si tratta di un controllo preciso e accurato.
Le lampade tradizionali possono produrre ozono; tale sostanza influisce negativamente sull’adesione del fotorest e aumenta il numero di particelle presenti nell’ambiente di lavoro. Noi utilizziamo lampade a infrarossi prive di ozono, così da mantenere la temperatura desiderata, senza sorprese.
Ciò che è importante
Utilizziamo emettitori a infrarossi a breve lunghezza d’onda, dotati di tempi di risposta rapidi, per garantire una temperatura stabile nel giro di pochi secondi. Nella zona di cottura, l’uniformità della temperatura rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra un ciclo e l’altro è costante.
Gli elementi in quarzo e i materiali compatibili con ambienti a bassa polvere sono progettati per essere utilizzati in ambienti di classe 1–100. Non ci sono emissioni di gas o particelle durante il funzionamento delle lampade. La densità di potenza è regolata in base alle caratteristiche del fotorest, e la dispersione spettrale è ottimizzata per corrispondere alla curva di assorbimento dei fotorest più comuni: meno ritardi termici e meno effetti negativi ai bordi dell’oggetto trattato.
Perché questo è utile nel processo di trattamento dei fotorest
La cottura a temperatura moderata serve a eliminare i solventi e a stabilizzare la struttura del film. La cottura a temperatura elevata, invece, serve a stabilizzare l’immagine prima dell’etching. Con lampade a infrarossi prive di ozono, è possibile mantenere un controllo preciso sulla larghezza delle linee, riducendo i difetti e diminuendo il bisogno di rifacimenti.
Il sistema funziona 24/7 con prestazioni stabili; inoltre, si consuma meno energia rispetto ai metodi di riscaldamento convettivo, poiché il calore viene trasmesso direttamente al film, senza passare attraverso la camera di lavoro. La produttività aumenta senza compromettere la qualità del prodotto finale; inoltre, la durata delle lampade permette di svolgere operazioni prolungate, con intervalli di manutenzione prevedibili.
Aspetti pratici
L’energia emessa dalle lampade è diretta lungo la linea di visuale; pertanto, la geometria di montaggio deve assicurare che il fascio luminoso sia allineato con il percorso del wafer. È necessario utilizzare elementi riflettenti per evitare che il calore indesiderato influisca sugli elementi ottici circostanti.
Dopo che lo strumento è fermo, è necessario un breve periodo di riscaldamento per raggiungere l’equilibrio termico: è quindi importante pianificare i tempi di cottura in base a questo periodo. La compatibilità con gli strumenti esistenti è semplice, ma è necessario verificare le distanze meccaniche e le connessioni elettriche insieme al team incaricato dell’attrezzatura.

Ozono on Focused IR Heating Beams

Lampada a infrarossi senza ozono