http://ir-heat-beam.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%83%B3%E3%83%AB%E3%83%BC%E3%83%A0/ Recent content in クリーンルーム on 集中 IR加熱 ビーム Hugo ja Wed, 02 Sep 2026 20:13:29 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ Wed, 02 Sep 2026 20:13:29 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="高純度石英IRランプを用いたMEMSウエハ乾燥におけるゼロ汚染加熱の実現"></p> <p>クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 MEMSセンサーワエハを乾燥させる際、ご存知の通り、わずかなほこりの粒がワエハに付着するだけで、そのワエハは使えなくなってしまいます。本当に厄介です。 問題は、一般的な加熱要素は実際には微粒子を発生させる装置だということです。それらの微粒子が、本来いない場所に放出されてしまいます。私たちは、高純度の合成石英製のIRランプに切り替えることでこの問題を解決しました。このランプは微粒子を発生させず、金属片も漏れ出さないため、生産ラインを常に適切な状態に保つことができます。</p>