http://ir-heat-beam.com/ja/tags/%E3%83%87%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%B4/ Recent content in (デューヴ) on Focused IR Heating Beams Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程では、すぐに<a href="https://henruite.com">習得</a>できます。わずかなバックアップやハードバックアップの誤差だけでも、予期せぬ品質低下を引き起こします。半度程度の誤差でも、重要な寸法が<a href="https://o-yate.net">目標値</a>から外れてしまいます。また、粒子の増加によって、良質なウェーハが瞬く間に廃棄物になってしまうこともあります。DUVレジストのバックアップ用ランプは、このような不確実性を取り除くためのものです。</p> <p><strong>重要なのは何か</strong> ウェーハ全体の温度均一性が±0.1℃以内であることです。そうすることで、ロットごとにレジスト表面全体が同じように硬化します。短波長の出力とクォーツを利用した設計により、均一に加熱され、ホットスポットが発生しません。また、システムの構造も完璧で、粒子の排出がないため、クリーンルームのクラス1～100の基準を守る必要もありません。</p>