ドレイヤー on Focused IR Heating Beams

デジタル赤外線乾燥機コントローラー

Mon, 20 Jul 2026 11:41:13 +0800

シャードの発生を防ぐ：ウェーハをきれいに保ち、ドライヤーを安全に保つ

大量生産中に赤外線ランプが破損してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には石英の破片や金属製のフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これは完全な災害です。単に1枚のウェーハを失うだけでなく、二次的な汚染が起こり、一連の製品が台無しになってしまいます。私たちは、このような故障が起こる前に、それを防ぐ方法を長い時間をかけて研究してきました。

近赤外線 NIR ウェーハ乾燥装置

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク処理は単なる加熱工程ではありません。それは、製品の寸法精度を保証するための重要な工程なのです。もしソフトベイクやハードベイクの温度が±0.1℃からわずかにでも外れてしまうと、製品の寸法精度が崩れてしまいます。従来のホットプレート式装置ではウェーハの端部分の再現性が悪く、対流式オーブンでは空気中の汚染物質が問題となります。クラス1～100のクリーンルームでは、粒子の発生や予期しない停止時間は数分程度の損失に留まらず、全体の生産コストに影響を与えます。

内部で何が重要か 私たちは、近赤外線を利用したウェーハドライヤーを開発しました。これにより、空気の流れがない状態で直接、ウェーハ全体を均一に加熱することができます。その結果、プロセス全体を通じてウェーハの温度が±0.1℃以内に保たれ、フォトレジストの温度も数秒で所定値に到達します。空気の流れがないため、粒子の発生もありません。チャンバーは完全に密閉されているため、ウェーハに触れるのはウェーハ自体だけです。

DNS スクリーンウェーハドライヤーランプ

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

リソグラフィーの現場では、ソフトベークまたはハードベークで1℃のドリフトは「小さなエラー」ではありません。それは単純に歩留まりへの影響です。ウェハがエッジビード、ライン幅のばらつき、または完全にクリアされない溶剤を伴ってトラックを離れるのを目の当たりにします—後で欠陥として現れる残留物です。必要なのは、ウェハ全体を一つの熱的な体として扱う熱源であり、熱いスポットと冷たいスポットのパッチワークではありません。

赤外線精度：サブミリメートルの均一性、再現性

DNSスクリーンウェハードライヤーランプは、制御された近赤外線（NIR）加熱を基に設計されており、ウェハ面全体にサブミリメートルの均一な熱場を提供するように調整されています。実際には、中心からエッジまでのフォトレジスト温度が一貫していることを意味し、ソフトベークが溶剤を均等に除去し、ハードベークがレジストプロファイルを固定します—リフローやスカミングなしで。