http://ir-heat-beam.com/ja/tags/%E3%83%8F%E3%83%AD%E3%82%B2%E3%83%B3/ Recent content in ハロゲン on Focused IR Heating Beams Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTPシステム用ハロゲンランプ"></p> <h1 id="ファブフロアでの課題">ファブフロアでの課題</h1> <p>ラピッドサーマルプロセッシング（RTP）における熱ドリフトは熱予算を圧迫し、フォトレジストのプロファイルが崩れ始める。ウェーハレベルの均一性は単なる理論上の指標ではなく、利益の出る生産と廃棄の境界線である。</p>