http://ir-heat-beam.com/ja/tags/%E6%98%A0%E7%94%BB/ Recent content in 映画 on Focused IR Heating Beams Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ドライフィルムレジスト積層ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ラミネーション用ヒーターは単に熱を供給するだけではありません。それは、フォトレジスト全体の温度管理を担っているのです。ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、粘度やエッジビード、そして重要な寸法制御に影響が出ます。基板全体で±0.1℃以内の均一性が求められる場合、このドライフィルムレジスト用ラミネーションヒーターは単なる補助機器ではなく、プロセスを安定させるための重要な要素となります。</p>