暖房 on Focused IR Heating Beams

省エネ型半導体ヒーター

Tue, 28 Jul 2026 05:05:33 +0800

なぜ半導体ヒーターの絶縁性能を厳しくチェックするのか？私たちは、工場から出荷されるすべてのヒーターチューブをテストします。一つ残らずです。半導体の世界では、「もしかすると」ということは許されません。わずかな隙間や絶縁材の摩耗だけでも、装置の故障を引き起こすだけでなく、最悪の場合は装置が破壊されてしまいます。

交換用ヒーター要素 IP65

Mon, 20 Jul 2026 11:32:47 +0800

粉塵や水が赤外線ランプを壊すのを防ぎましょう

正直言って、一般的な赤外線ランプはとても繊細です。もし、汚れの多い工業環境で使用すると、湿気やほんの少しの粉塵だけで、本来よりも早くランプが壊れてしまいます。わずかな水分が内部に入っただけで何度も部品を交換しなければならないのは本当に面倒です。

だからこそ、私たちはIP65等級の部品を開発しました。つまり、水や粉塵が電気接点やクォーツチューブに触れないようにするのです。

どのようにして汚れを防ぐのか？

ほとんどのランプは接続部分で故障します。それが最も弱点です。これを解決するために、特殊なガスケットや密封されたケースを使用しました。

ウェーハ加熱時の安全距離

Sat, 20 Jun 2026 06:00:48 +0800

リソグラフィーの工程では、ウエハーを加熱する際の安全距離というのは、単なる「快適な範囲」などではありません。それは厳格な制御が必要な領域です。距離が近すぎると、熱的な干渉やレジストの形状歪み、粒子の移動が起こります。一方、距離が遠すぎると、十分な加熱効果が得られず、CDの均一性が規格から外れてしまいます。私たちは、その距離を正確に保つように加熱プラットフォームを設計しており、そうすることで熱的条件がレジストの特性範囲内に留まります。

技術的に重要な点 私たちは、全加熱サイクルを通じてウエハー全体の温度均一性を±0.1°C以内に保っています。ソフトベイクおよびハードベイクの温度は、線幅や側壁角度に直接影響を与えるため、この許容範囲は任意のものではありません。このシステムはクリーンルームクラス1～100に対応しており、低ガス放出型の材料や密閉された熱伝達経路を使用しています。定常状態では、粒子の発生はゼロになります。また、このシステムは24時間365日稼働可能で、予期せぬ停止はありません。予測可能な温度上昇、安定した保持時間、再現性のある冷却が特徴です。各加熱サイクルは厳格な許容範囲内で繰り返され、この一貫性こそが、ロット間の品質を保証する要素です。