http://ir-heat-beam.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%BD%94/ Recent content in 清潔 on Focused IR Heating Beams Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Wed, 01 Jul 2026 13:04:39 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="半導体クリーンルーム用トロリーヒーター"></p> <p>フォトレジストの焼成時に0.5度程度のずれが生じるだけで、製品の寸法が規格範囲を外してしまいます。ウェーハの乾燥速度が遅いと、処理時間が長引き、表面汚染のリスクも高まります。そのため、プロセスのばらつきをなくすために、クリーンルーム用のトロリーキャビネットにヒーターを搭載しています。</p>