http://ir-heat-beam.com/ja/tags/nir/ Recent content in NIR on Focused IR Heating Beams Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="近赤外線 NIR ウェーハ乾燥装置"></p> <p>300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク処理は単なる加熱工程ではありません。それは、製品の寸法精度を<a href="https://o-yate.com">保証</a>するための重要な工程なのです。もしソフトベイクやハードベイクの温度が±0.1℃からわずかにでも外れてしまうと、製品の寸法精度が崩れてしまいます。従来のホットプレート式装置ではウェーハの端部分の再現性が悪く、対流式オーブンでは空気中の汚染物質が問題となります。クラス1～100のクリーンルームでは、粒子の発生や予期しない停止時間は数分程度の損失に留まらず、全体の生産コストに影響を与えます。</p> <p><strong>内部で何が重要か</strong> 私たちは、近赤外線を利用したウェーハドライヤーを開発しました。これにより、空気の流れがない状態で直接、ウェーハ全体を均一に加熱することができます。その結果、プロセス全体を通じてウェーハの温度が±0.1℃以内に保たれ、フォトレジストの温度も数秒で所定値に到達します。空気の流れがないため、粒子の発生もありません。チャンバーは完全に密閉されているため、ウェーハに触れるのはウェーハ自体だけです。</p>