드레이어는 물기를 제거하는 on Focused IR Heating Beams

디지털 적외선 건조기 컨트롤러

Mon, 20 Jul 2026 11:41:13 +0800

파편의 발생을 막아보세요: 웨이퍼를 깨끗하게 유지하고 건조기를 안전하게 보호하기

고부하 작업 중에 적외선 램프가 폭발한 경험이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 한 순간은 모든 것이 정상적이었는데, 다음 순간에는 석영 파편과 금속 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다.
이건 완전한 재앙입니다. 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아니라, 전체 제품군이 망가질 수도 있습니다. 우리는 이러한 문제가 발생하기 전에 미리 대비하는 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.

근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

300mm 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수 정밀도를 보장하는 매우 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.1°C만큼이라도 벗어나면, 치수 제어가 불가능해집니다. 일반적인 가열판 방식은 웨이퍼의 가장자리 부분에서의 반복성 문제를 야기하며, 대류식 오븐의 경우 공기 중의 이물질이 웨이퍼에 들어갈 수 있습니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는 입자 발생과 예기치 않은 가동 중단이 몇 분간의 손실을 의미하는 것이 아니라, 전체 생산량의 손실을 의미합니다.

DNS (스크린) 웨이퍼 드라이어 램프

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

리소그래피 공정에서의 온도 변화

리소그래피 공정에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 1°C의 드리프트는 “작은 오류"가 아닙니다. 이는 수율에 영향을 미치는 명백한 요인입니다. 웨이퍼가 트랙을 떠날 때 엣지 비드, 라인 폭의 변동, 또는 완전히 제거되지 않은 용매가 남아 있는 것을 보게 됩니다. 이러한 잔여물은 나중에 결함으로 나타납니다. 당신이 필요로 하는 것은 웨이퍼 전체를 하나의 열체로 취급하는 열원입니다. 뜨겁고 차가운 부분의 패치워크가 아니라.