http://ir-heat-beam.com/ko/tags/%EB%9D%BC%EB%AF%B8%EB%84%A4%EC%9D%B4%ED%8C%85/ Recent content in 라미네이팅 on Focused IR Heating Beams Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="드라이 필름 리젝트 코팅 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서 라미네이팅 히터는 단순히 열을 가하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 히터는 전체 포토레지스트의 온도를 조절하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 0.5°C라는 미세한 온도 변화가 생기면, 점도나 에지 비드 현상, 그리고 치명적인 치수 제어 문제가 발생할 수 있습니다. 기판 전체에 걸쳐 ±0.1°C 이내의 균일한 온도가 필요하다면, 이 라미네이팅 히터는 단순한 부품이 아니라 공정의 핵심적인 역할을 합니다.</p>