http://ir-heat-beam.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Focused IR Heating Beams Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 06:00:49 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 20 Jun 2026 06:00:49 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p>리소그래피 공정에서 웨이퍼 가열 부분 주변의 안전 거리는 단순한 편안한 공간이 아닙니다. 그것은 엄격한 공정 제어 범위입니다. 너무 가까이 다가가면 열적 간섭, 저항값의 변형, 입자 발생 등의 문제가 생깁니다. 반대로 너무 멀리 떨어지면 가열 효과가 충분하지 않아 CD의 균일성이 규격에서 벗어나게 됩니다. 우리는 이러한 안전 거리를 정확하게 유지할 수 있도록 가열 플랫폼을 설계했습니다. 그렇게 함으로써 열적 조건이 포토레지스트의 적절한 범위 내에 머물 수 있습니다.</p>