http://ir-heat-beam.com/ko/tags/%EC%A0%80%ED%95%AD%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 저항하다 on Focused IR Heating Beams Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 05:13:34 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:13:34 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 약간의 오차라도 발생하면, 그로 인해 생산 효율에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 반도 정도의 오차만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 존재하면 양질의 웨이퍼도 순식간에 버려지게 됩니다. DUV 리조스트 건조 램프는 이러한 불확실성을 줄여줍니다.</p> http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="드라이 필름 리젝트 코팅 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서 라미네이팅 히터는 단순히 열을 가하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 히터는 전체 포토레지스트의 온도를 조절하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 0.5°C라는 미세한 온도 변화가 생기면, 점도나 에지 비드 현상, 그리고 치명적인 치수 제어 문제가 발생할 수 있습니다. 기판 전체에 걸쳐 ±0.1°C 이내의 균일한 온도가 필요하다면, 이 라미네이팅 히터는 단순한 부품이 아니라 공정의 핵심적인 역할을 합니다.</p>