http://ir-heat-beam.com/ko/tags/dns/ Recent content in DNS on Focused IR Heating Beams Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="DNS (스크린) 웨이퍼 드라이어 램프"></p> <h1 id="리소그래피-공정에서의-온도-변화">리소그래피 공정에서의 온도 변화</h1> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 1°C의 드리프트는 &ldquo;작은 오류&quot;가 아닙니다. 이는 수율에 영향을 미치는 명백한 요인입니다. 웨이퍼가 트랙을 떠날 때 엣지 비드, 라인 폭의 변동, 또는 완전히 제거되지 않은 용매가 남아 있는 것을 보게 됩니다. 이러한 잔여물은 나중에 결함으로 나타납니다. 당신이 필요로 하는 것은 웨이퍼 전체를 하나의 열체로 취급하는 열원입니다. 뜨겁고 차가운 부분의 패치워크가 아니라.</p>