http://ir-heat-beam.com/ko/tags/nir/ Recent content in (NIR) on Focused IR Heating Beams Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/ko/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기"></p> <p>300mm 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수 정밀도를 보장하는 매우 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.1°C만큼이라도 벗어나면, 치수 제어가 불가능해집니다. 일반적인 가열판 방식은 웨이퍼의 가장자리 부분에서의 반복성 문제를 야기하며, 대류식 오븐의 경우 공기 중의 이물질이 웨이퍼에 들어갈 수 있습니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는 입자 발생과 예기치 않은 가동 중단이 몇 분간의 손실을 의미하는 것이 아니라, 전체 생산량의 손실을 의미합니다.</p>