Mengatasi masalah “dinding panas” dalam proses pembilasan semikonduktor
Jika anda pernah terlibat dalam proses pemprosesan semikonduktor secara basah, anda pasti tahu betapa sukarnya cara ini. Anda perlu memanaskan wafer semasa proses pembilasan, tetapi anda tidak mahu peralatan tersebut berubah menjadi “oven” yang panas.
Pemanas radiasi tradisional sebenarnya hanyalah mentol lampu biasa – ia mengeluarkan haba ke semua arah. Ini bermakna dinding dalaman peralatan akan menjadi sangat panas. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan secara keseluruhannya, ia juga merupakan ancaman keselamatan bagi mereka yang bekerja berhampiran mesin tersebut.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: penggunaan lampu inframerah berarah.
Cara ia berfungsi
Kebanyakan lampu inframerah menghasilkan sinaran pada sudut 360 darjah. Kami tidak menginginkan hal ini. Sebaliknya, kami menggunakan pemancar gelombang pendek yang digabungkan dengan reflektor khusus.
Gelombang inframerah pendek sangat efektif kerana ia dapat menembusi cecair pembilasan dan sampai secara langsung ke permukaan wafer. Dengan memfokuskan pancaran haba tersebut, kita dapat memastikan bahawa suhu wafer meningkat tepat di mana diperlukan. Dengan cara ini, dinding peralatan tetap sejuk.
Mengatasi masalah kotoran
Proses pembilasan memerlukan penggunaan air, dan air serta elektrik bukanlah kombinasi yang baik. Untuk mengelakkan masalah kerosakan akibat kelembapan, kami menggunakan penutup kalis air pada kontak elektrik. Tanpa penutup ini, kelembapan akan merosakkan terminal elektrik, sehingga menyebabkan kerosakan pada peralatan. Kami juga membungkus semua komponen tersebut dalam pembungkusan kuarza. Pembungkusan ini tahan terhadap asap kimia dan percikan air.
Cabaran yang perlu dihadapi
Ia bukanlah sesuatu yang mudah. Kerana haba yang dihasilkan dikumpulkan di satu titik sahaja, ketepatan sangat penting. Jika posisi lampu sedikit salah, ia akan menyebabkan bahagian tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Itu merupakan masalah besar.
Selain itu, walaupun dinding peralatan tetap sejuk, lampu itu sendiri akan menjadi sangat panas. Anda tidak boleh mengabaikan hal ini. Jika kipas penyejuk atau alat penyerap haba tidak berfungsi dengan baik, lampu tersebut akan cepat rosak.
Cara terbaik adalah dengan menghubungkan lampu tersebut ke pengawal PID. Pengawal ini dapat mengekalkan suhu pada tahap yang stabil. Dengan cara ini, wafer akan tetap bersuhu stabil, peralatan akan tetap sejuk, dan para pekerja pun dapat bekerja dengan lebih selesa.