Pada proses pembakaran bahan fotoresist, perbezaan suhu sebanyak setengah darjah sahaja sudah cukup untuk menyebabkan dimensi kritikal komponen tersebut tidak memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Proses pengeringan wafer yang berlaku secara perlahan akan memanjangkan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses tersebut, dan ini pula boleh membawa kepada pencemaran permukaan wafer. Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas yang sesuai untuk digunakan di bilik bersih—supaya variasi suhu dapat dikurangkan.
Apa yang menjadi asas reka bentuknya
Kami merancang pemanas ini agar sesuai dengan keperluan termal semikonduktor. Di seluruh permukaan wafer, suhu dikekalkan pada tahap ±0.1°C, dan ketepatan suhu dicapai melalui sistem kawalan yang telah dikalibrasi dengan baik. Komponen pemanasan menggunakan gelombang inframerah pendek, jadi tindak balasnya cepat dan pengagihan haba juga sekata. Badan pemanas ini direka khas untuk digunakan di bilik bersih—dengan sambungan yang rapat dan tiada zarah yang terlepas—untuk digunakan dalam persekitaran Kelas 1–100. Kuasa, voltan, dan dimensi pemanas ini sesuai dengan standard alat-alat proses biasa, jadi integrasinya tidak akan menyebabkan masalah.
Di mana ia berguna
Pemanas ini sesuai digunakan untuk proses-proses seperti pengeringan wafer, pembakaran bahan fotoresist, pengeringan selepas proses pembersihan, dan lain-lain. Stabilisasi suhu yang cepat membolehkan proses berjalan tanpa kehilangan ketepatan suhu yang diinginkan. Ketepatan suhu yang tinggi membantu mengurangkan kecacatan pada permukaan wafer, seterusnya meningkatkan kadar kelulusan produk. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba disalurkan mengikut keperluan, bukannya dari ruang yang besar. Masa operasi pemanas ini sangat lama—24/7—dan penyelenggaraannya mudah dilakukan.
Perhatian penting semasa penggunaan
Lokasi pemasangan pemanas ini sangat penting. Pastikan aliran udara selaras dengan permukaan wafer, dan pastikan ada ruang yang cukup untuk aliran udara di bilik bersih, supaya tidak timbul turbulensi. Semasa pemasangan, pastikan jarak antara rel gerabak dan jenis konektor juga betul—kesilapan kecil pun boleh mengganggu proses penggunaan pemanas ini. Pemanas ini tetap berfungsi dengan baik pada suhu sekitar 22±2°C dan kelembapan 45±5%. Jika suhu atau kelembapan berada di luar julat ini, kawalan suhu akan menjadi lebih sukar.