Na stanowisku do litografii nawet półstopniowy brak precyzji w temperaturze suszenia może spowodować zmianę kluczowych wymiarów elementów o kilka nanometrów. To nie jest tylko kwestia ciepła – chodzi tu o precyzyjną kontrolę.
Zwykłe lampy mogą wytwarzać ozon, a ten wpływa negatywnie na przyczepność fotorezystu oraz zwiększa liczbę cząstek w powietrzu. My używamy lamp infrarażowych bez ozonu, dzięki czemu temperatura pozostaje na ustalonej wartości, bez żadnych niespodzianek.
Co jest istotne w tym procesie? Używamy emiterów fal krótkich o szybkiej reakcji, co umożliwia utrzymanie stałej mocy w ciągu zaledwie kilku sekund. W całej strefie suszenia jednolitość temperatury wynosi ±0,1°C, a powtarzalność procesu jest wysoka.
Korpus lampy wykonany jest z kwarcu, a materiały użyte są dostosowane do warunków panujących w pomieszczeniach klasy 1–100. Podczas pracy lamp nie dochodzi do uwalniania żadnych gazów, a liczba cząstek w powietrzu jest zerowa. Gęstość mocy jest dostosowana do specyfiki fotorezystu, a widmo emitowanego światła odpowiada krzywej absorpcji typowych warstw fotorezystu – co zmniejsza efekty termiczne i problemy z krawędziami.
Dlaczego to ma znaczenie w procesie obróbki fotorezystu? Proces miękkiego suszenia polega na usunięciu rozpuszczalnika i ustaleniu napięcia w warstwie fotorezystu. Proces twardego suszenia natomiast służy do ustabilizowania obrazu przed procesem etchingu. Dzięki lampom infrarażowym bez ozonu można utrzymać precyzyjną szerokość linii, uniknąć defektów i zmniejszyć ilość prac korygujących.
System funkcjonuje 24/7 przy stałej mocy, a zużycie energii jest mniejsze niż w przypadku metody konwekcyjnej, ponieważ ciepło trafia bezpośrednio do warstwy fotorezystu, a nie do całej komory. Przepustowość wzrasta, bez strat w jakości produktu, a żywotność lamp umożliwia długotrwałe użytkowanie przy przewidywalnych terminach konserwacji.
Praktyczne aspekty Moc lampy jest skierowana w linii wzroku, więc geometria układu musi zapewnić, aby wiązka światła była skierowana właśnie na płytkę. Należy używać elementów odbijających światło, aby uniknąć nadmiernego nagrzewania sąsiednich elementów.
Po zakończeniu pracy urządzenia konieczny jest krótki czas na osiągnięcie równowagi termicznej – należy planować profile suszenia z uwzględnieniem tego czasu. Kompatybilność z istniejącymi urządzeniami jest prosta, ale należy sprawdzić wymiary mechaniczne oraz połączenia energetyczne z zespołem obsługującym sprzęt.