Na linii produkcyjnej nawet półstopniowa odchylenie podczas procesu wypalania fotorezystu wystarcza, by krytyczne wymiary wyrobów nie spełniały norm. Powolny proces suszenia płytek wpływa negatywnie na czas trwania cyklu produkcji i zwiększa ryzyko zanieczyszczenia powierzchni. Dlatego umieszczamy grzejnik w pojazdku przeznaczonym do pracy w sterylnej przestrzeni – dzięki temu eliminujemy różnice w parametrach procesu.
Na czym opiera się projekt tym grzejnika
Grzejnik został zaprojektowany tak, aby mieścić się w ramach określonych parametrów termicznych charakterystycznych dla półprzewodników. Utrzymujemy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność efektów uzyskiwana jest dzięki kalibrowanemu systemowi sterowania, który precyzyjnie kontroluje temperaturę. Element grzewczy to krótkofalowe promieniowanie infrarażowe, więc reakcja grzejnika jest szybka, a rozkład ciepła równomierny. Obudowa jest przygotowana do użytku w sterylnej przestrzeni – ma hermetycznie zamknięte spawy i nie uwalnia żadnych cząstek, co sprawia, że nadaje się do użytku w środowiskach klasy 1–100. Moc, napięcie i wymiary grzejnika odpowiadają standardowym parametrom pojazdów używanych w procesach produkcyjnych, więc integracja tego urządzenia nie stanowi problemu.
Gdzie ten grzejnik się sprawdza
Ten grzejnik nadaje się do stosowania w procesach takich jak suszenie płytek, wypalanie fotorezystu, utwardzanie materiałów używanych do pakowania płytek oraz suszenie po procesie czyszczenia. Szybka stabilizacja temperatury pozwala uniknąć dłuższego pozostawiania płytek w piecu lub na gorącej płycie, bez utraty dokładności parametrów. Wysoka jednolitość temperatury pomaga zmniejszyć liczby defektów na brzegach płytek oraz poprawić jakość produktu. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ ciepło jest dostarczane na żądanie, a nie pobierane z dużej komory. Czas pracy tego urządzenia wynosi 24/7, a konserwację można planować z wyprzedzeniem.
Ważne uwagi dotyczące zakładania grzejnika
Miejsce umieszczenia grzejnika jest istotne – należy dopilnować, aby strumień powietrza był skierowany wzdłuż płytek, a także zachować odpowiednią odległość, aby uniknąć lokalnych turbulencji. Podczas instalacji należy sprawdzić odległość między szynami w pojazdzie oraz typ złączy – niewielkie różnice mogą doprowadzić do przerw w procesie produkcji. Grzejnik zachowuje swoje parametry przy temperaturze otoczenia 22±2°C i wilgotności 45±5%. Poza tymi wartościami margines kontroli termicznej znacznie się zmniejsza.