Lampa do wypalania odpornika na głębokie UV (DUV)

Fri, 26 Jun 2026 05:13:34 +0800

W procesie litografii szybko się uczy się tego, jak unikać problemów: nawet niewielka odchylenia w profilu utwardzania fotochemikaliów mogą mieć negatywny wpływ na jakość produktu. Nawet półstopniowe odchylenie może sprawić, że wymiary elementów nie będą zgodne z normami, a obecność cząstek może zmienić dobry krążek krzemowy w odpad, zanim zdążysz to zauważyć. Lampa do utwardzania fotochemikaliów typu DUV pomaga uniknąć takich problemów poprzez precyzyjne kontrolowanie temperatury.

Co jest istotne pod względem technicznym
Chodzi o zachowanie jednolitości temperatury na całej powierzchni krążka krzemowego, w zakresie ±0,1°C. Dzięki temu cała powierzchnia fotochemikaliów utwardza się w taki sam sposób, zarówno w poszczególnych partiach produktów, jak i między różnymi zmianami pracy maszyny. Krótkofalowe światło oraz konstrukcja lampy optymalizowana pod kątem kwarcu zapewniają szybkie i kontrolowane utwardzanie, bez powstawania gorących punktów. Architektura systemu gwarantuje brak emisji cząstek, więc nie musisz się martwić o utrzymanie poziomu czystości w pomieszczeniach klasy 1–100.

Grzejnik do laminowania opornika folii suchej

Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800

Na stanowisku litograficznym grzałka do laminowania nie tylko dostarcza ciepła – ona także określa parametry termiczne dla całego profilu fotoopornika. Jeśli wystąpi odchylenie o 0,5°C podczas procesu delikatnego nagrzewania, to wpływa to na właściwości lepkości materiału, na powstawanie bąbelków na krawędziach oraz na precyzję kontroli wymiarów. Gdy wymagana jest jednorodność temperatury na poziomie ≤±0,1°C na całej powierzchni podłoża, to grzałka do laminowania nie jest zwykłym akcesorium – jest elementem kluczowym w całym procesie.

To, co budujemy wokół tej grzałki, jest proste. Wykorzystujemy architekturę grzania na podczerwień krótkofalową, kompatybilną z warunkami panującymi w pomieszczeniach czystych, z emiterami umieszczonymi w otoczce kwarcowej. Dzięki temu uzyskujemy szybką reakcję termiczną bez wydzielania się cząstek. Sterownik temperatury kontroluje temperaturę na poziomie samego płyty krzemowej, a nie na poziomie samej grzałki, dzięki czemu utrzymuje jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C na całej aktywnej powierzchni. Powierzchnie komory wykonane ze stali nierdzewnej oraz system wentylacyjny z filtrami HEPA pomagają utrzymać liczbę cząstek na poziomie przyjętym w środowiskach klasy 1–100. Powtarzalność procesu zapewnia stały profil termiczny, który można zapisać i przywrócić dla każdej partii produktu.

Opierać Się on Focused IR Heating Beams

Lampa do wypalania odpornika na głębokie UV (DUV)

Grzejnik do laminowania opornika folii suchej