Alcançando um nível de contaminação zero no secamento de wafers MEMS utilizando lâmpadas IR de quartzo de alta pureza
Manter sua câmara limpa de classe 100 realmente limpa Se você está secando wafers de sensores MEMS, certamente conhece o problema: uma única...
Aquecedor para secagem de bolachas de sensores MEMS
Não deixe que uma lâmpada quebrada estrague todo o seu lote: Mantendo as pastilhas MEMS limpas
Em um sistema de produção em larga escala de MEMS, uma...
Aquecedor de secagem de wafer MEMS
De volta à linha, um wafer MEMS úmido sai da limpeza e aguarda. A próxima parada—revestimento de fotoresiste, aquecimento suave e um secagem...