На производственной линии даже небольшое отклонение в полуградуса во время сушки фотополимера может привести к тому, что критические размеры изделия не будут соответствовать требованиям. Медленная скорость сушки пластин увеличивает время цикла и создает условия для загрязнения поверхности. Поэтому мы используем нагревательные устройства, предназначенные для использования в чистых комнатах — это помогает минимизировать неточности в процессе.
Принципы проектирования
Мы спроектировали эти нагревательные устройства так, чтобы они соответствовали требованиям термического регулирования в процессе производства полупроводников. На поверхности пластины температура поддерживается на уровне ±0,1°C, а точность регулирования обеспечивается за счет калиброванной системы управления, которая позволяет точно контролировать температуру без значительных отклонений. Нагревательный элемент работает в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения, что обеспечивает быструю реакцию и равномерное распределение тепла. Корпус устройства разработан так, чтобы можно было использовать его в чистых комнатах — имеются герметичные соединения, что исключает появление частиц внутри устройства. Энергопотребление снижается благодаря тому, что тепло поставляется по мере необходимости, а не из большой камеры. Ещё одним преимуществом является возможность круглосуточной работы устройства при условии планирования обслуживания.
Где они находят применение
Эти устройства подходят для использования в процессах сушки пластин, сушки фотополимера, затвердевания упаковочных материалов и сушки после очистки. Быстрая стабилизация температуры позволяет сократить время нахождения пластин в печи или на нагревательной плате, при этом сохраняется точность параметров процесса. Высокая степень однородности температуры снижает количество дефектов на поверхности пластин и повышает качество продукции. Энергопотребление снижается благодаря тому, что тепло поставляется по мере необходимости. Ещё одним преимуществом является возможность круглосуточной работы устройства при условии планирования обслуживания.
Важные замечания
Важно правильно расположить устройство — поток воздуха должен идти параллельно пластинам, а также должно быть достаточно места для циркуляции воздуха в чистой комнате, чтобы избежать местных турбулентностей. Во время установки необходимо убедиться, что расстояние между рельсами тележки и тип подключения соответствуют стандартам — даже небольшие отклонения могут помешать смене процесса производства. Устройство будет работать в нормальных условиях при температуре 22±2°C и влажности 45±5%. Если температура выйдет за эти пределы, точность регулирования температуры снизится.