Драер on Focused IR Heating Beams

Контроллер цифрового инфракрасного сушильника

Mon, 20 Jul 2026 11:41:13 +0800

Остановите разрушение ламп: сохраняйте чистоту пластин и безопасность сушильных устройств
Если у вас когда-либо взорвалась инфракрасная лампа во время интенсивной работы оборудования, вы знаете, что это настоящий кошмар. В одно мгновение все работает нормально, а в следующее — на пластины падают осколки кварца и металлические элементы лампы.

Это полный разгром. Вы теряете не только одну пластину, но и рискуете получить вторичное загрязнение, которое может испортить целые партии продукции. Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения таких ситуаций еще до того, как они начнутся.

Сушитель пластин в диапазоне ближнего инфракрасного света

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

На линии производства с длиной волны 300 мм процедура высушивания фотополимера не является просто ещё одним тепловым этапом. Это критически важный фактор для обеспечения точности размеров изделий. Даже незначительные отклонения температуры в пределах ±0,1°C могут привести к нарушению контроля за размерами изделий. Обычные плиты для нагрева создают проблемы с повторяемостью параметров на краях пластины, а конвективные печи способствуют появлению частиц в воздухе. В чистой комнате класса 1–100 появление частиц и простои стоят не минут, а целых партий готовой продукции.

Светильник для сушки ваферов DNS (экран)

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

На литографическом этаже отклонение температуры на 1°C во время мягкой или жесткой сушки не является «небольшой ошибкой». Это приводит к снижению выхода, просто и ясно. Вы наблюдаете, как вафли покидают линию с краевыми полосами, разбросом ширины линий или растворителем, который никогда полностью не испарился — остатки, которые позже проявляются как дефекты. Вам нужен источник тепла, который обрабатывает всю вафлю как одно термическое тело, а не как мозаику горячих и холодных участков.

Инфракрасная точность: Подмиллиметровая однородность, воспроизводимость

Лампа сушилки для экранных вафель DNS основана на контролируемом ближнем инфракрасном (NIR) отоплении, настроенном на создание подмиллиметрового однородного теплового поля по плоскости вафли. На практике это означает постоянную температуру фотополимера от центра до края, так что мягкая сушка равномерно удаляет растворители, а жесткая сушка фиксирует профиль резиста — без повторного плавления или образования налета. Система обеспечивает воспроизводимость от партии к партии и от смены к смене, поэтому производительность по критическим размерам (CD) не колеблется при изменении условий окружающей среды. Выход лампы остается стабильным при длительных запусках, а конструкция минимизирует образование частиц — именно то, что вам нужно при работе в чистых помещениях класса 1–100.