Нагреватель для нанесения пленки защиты

Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800

На этапе литографии нагревательный элемент не просто выделяет тепло – он также определяет температурный режим для всей поверхности фотополимера. Даже небольшое отклонение в 0,5°C во время процедуры нагрева может повлиять на свойства фотополимера, а также на точность формирования критических размеров деталей. Если требуется сохранять однородность температуры на уровне ≤±0,1°C по всей поверхности подложки, то нагревательный элемент становится ключевым элементом процесса.

Мы используем систему нагрева с использованием кварцевых элементов, отличающуюся высокой скоростью реакции и отсутствием выброса частиц. Устройство контроля температуры обеспечивает стабильную температуру на уровне ±0,1°C по всей активной поверхности. Поверхности камеры из нержавеющей стали, а также система вентиляции с фильтрами HEPA помогают контролировать количество частиц в помещении класса 1–100. Повторяемость результатов обеспечивается за счет фиксированного температурного профиля, который можно сохранять и использовать при каждой партии продукции.

Ламинирование on Focused IR Heating Beams

Нагреватель для нанесения пленки защиты