Быстродействующая инфракрасная нагревательная лампа

Mon, 08 Jun 2026 05:14:37 +0800

На линии 300mm 15-секундный мягкий прогрев с дрейфом температуры на 2°C проявляется как отклонение ширины линии в резисте. На экспозицию даётся только один шанс. Мы разработали инфракрасную лампу с быстрым откликом, чтобы удерживать тепловой бюджет в пределах допустимого диапазона от цикла к циклу.
Что важно под капотом
Мы используем коротковолновые галогенные элементы в кварцевых колбах — выбранных за быстрый излучательный отклик и стабильную эмиссивность. Время отклика составляет менее 200 мс, а контроль температуры поддерживается с точностью ±0,1°C по всей поверхности пластины. Конструкция работает в классах чистоты от 1 до 100 без генерации частиц, а выходная мощность сохраняется постоянной более 5,000 часов с деградацией менее 5%.
Почему это эффективно при обработке фоторезиста
Мягкий и жёсткий обжиг, выпекание в пролёт — однородность температуры определяет однородность CD и плотность дефектов. Быстрый отклик сокращает окно стабилизации, что сокращает время простоя без потери однородности. В результате достигается повышенная производительность, более узкие технологические допуски и снижение количества брака. Потребление энергии также снижается, так как тепло подается по требованию, а не накапливается.
На что нужно обращать внимание
Точность установки критична. Лампа должна быть выровнена по форме отражателя и заданному расстоянию — в противном случае возникают локальные перегревы и дрейф однородности. Перед заменой проверьте гнездо инструмента, напряжение и монтажное оборудование. Мы поддерживаем стандартные интерфейсы, но устаревшие пластины для выпекания могут потребовать индивидуальных креплений. Планируйте проверять отражатель каждые 2,000 часов, чтобы поддерживать необходимый уровень производительности.

Ответ on Focused IR Heating Beams

Быстродействующая инфракрасная нагревательная лампа