http://ir-heat-beam.com/ru/tags/%D1%83%D1%84/ Recent content in УФ on Focused IR Heating Beams Hugo ru Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/ru/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа для высушивания резиста для глубокого УФ излучения (DUV)"></p> <p>На производстве по технологии литографии человек быстро учится: даже незначительное отклонение параметров процесса может привести к снижению качества готовых изделий. Небольшое отклонение в полградуса может нарушить точность размеров изделия, а наличие частиц может превратить хороший кристалл в бракованный ещё до того, как вы это поймете. Лампы для обработки фоторезиста в УФ-диапазоне помогают избежать таких проблем.</p> <p><strong>Что важно на самом деле</strong> Речь идет о тепловой однородности на уровне кристалла – не более ±0,1°C. Таким образом, вся поверхность фоторезиста сохнет одинаково, независимо от партии или смены. Коротковолновый свет и оптимизированная конструкция кварца обеспечивают быстрое и контролируемое нагревание без возникновения «горячих точек». Кроме того, система работает без каких-либо проблем – нет выброса частиц, что позволяет поддерживать стандарты чистоты 1–100 класса.</p>