http://ir-heat-beam.com/ru/tags/rtp/ Recent content in RTP on Focused IR Heating Beams Hugo ru Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/ru/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/ru/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Галогенная лампа для системы RTP"></p> <p>На производственном участке тепловое смещение в быстром термическом отполировании сокращает тепловой бюджет, и профили фоторезиста начинают деформироваться. Однородность на уровне пластин — это не какой-то академический показатель, а граница между выгодной партией и бракованной партией.</p> <p><strong>Что действительно важно внутри процесса</strong><br> Для RTP мы используем галогенные лампы с коротковолновым излучением и кварцевыми колбами, поскольку они нагревают пластину быстро, равномерно и стабильно. Однородность на уровне пластины удерживается в пределах ±0,1°C, а температура остается стабильной даже при круглосуточной работе линии. Геометрия нити накала и отражателя настроены таким образом, чтобы тепловой профиль был стабильным партия за партией. Так обеспечивается точное соблюдение условий мягкого и жесткого отжига без необходимости компенсировать дрейф оборудования.</p>