การป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ถูกปนเปื้อน ผ่านการออกแบบตัวเครื่องที่ใช้ความร้อนจากเทอร์โมสตัทแบบสแตนเลส

การป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ถูกปนเปื้อน ผ่านการออกแบบตัวเครื่องที่ใช้ความร้อนจากเทอร์โมสตัทแบบสแตนเลส