ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนแก่เวเฟอร์

ในห้องปฏิบัติการที่ใช้เทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ระยะห่างความปลอดภัยรอบๆ วัสดุที่ใช้ในการอุ่นวัตถุนั้นไม่ใช่พื้นที่ที่สามารถอยู่ได้อย่างสบายใจเลย...