การป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ถูกปนเปื้อน ผ่านการออกแบบตัวเครื่องที่ใช้ความร้อนจากเทอร์โมสตัทแบบสแตนเลส

วิธีหยุดยั้งภัยพิบัติจากการที่หลอดอินฟราเรดแตก ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ การที่หลอดอินฟราเรดแตกไม่ใช่เพียงแค่ข้อผิดพลาดทางเทคนิคเท่านั้น...