หลอดอินฟราเรดที่ปราศจากโอโซน

ในกระบวนการลิโทกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ขนาดสำคัญของชิ้นส่วนเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร...