Uçucu kimyasalların yakınında waferleri ısıtırken güvenliği sağlama
Dürüst olalım: Kızılötesi lambaları yanıcı çözücülerin ve patlayıcı buharların hemen yanına yerleştirmek oldukça tehlikeli bir durum. Eğer kimyasal temizleme işlemlerinde standart, açık yapıdaki lambalar kullanıyorsanız, bu aslında bir felaketi davet etmek demektir.
Bunu önlemek için açık yapıdaki lambalar yerine özel kaplamalı lambalar kullanıyoruz.
“Güvenlik kabuğu” nasıl çalışır?
Lambalarımızı yüksek saflıktaki kuvars veya özel camlarla kaplıyoruz. Buradaki amaç sadece her şeyi temiz tutmak değil; bu kaplama aynı zamanda elektriksel bileşenler ile çevreleyen hava arasında fiziksel bir bariyer görevi görüyor. Hiçbir şeyin içeri sızmasını engellemek için giriş noktalarında seramik-metal contalar kullanıyoruz. Bu sayede kimyasal buharlar lambanın içine sızamıyor.
Bunun neden önemli olduğunu şöyle açıklayabiliriz: Eğer bir buhar bulutu lambanın içine girerse, kaplamalı lamba elektrik arkının yangına yol açmasını engeller. Ayrıca dış yüzey sıcaklığını da yakından takip ediyoruz; eğer kaplama çok ısınırsa, bu durum temizleme maddelerinin kendiliğinden yanmasına neden olabilir ve kimse bunu istemez.
Stabiliteyi sağlama
Kısa dalga boylu kızılötesi ışıklar kullanıyoruz; çünkü bunlar wafer yüzeyine doğrudan etki eder. Böylece etrafındaki havayı ısıtmak için enerji boşa harcanmaz ve böylece kimyasallar da çok hızlı buharlaşmaz.
Ancak dikkatli olmak gerekiyor; aşırı güç uygulanırsa contalar zarar görebilir. Ayrıca küçük detayları da göz ardı etmiyoruz. Kabloların gevşememesi için güçlendirilmiş konektörler kullanıyoruz. gevşek bir kablo sıcak noktalara neden olur ve kimyasal ortamlarda sıcak noktalar doğrudan yangına yol açar.
Tercihler ve dezavantajlar
Hiçbir şey mükemmel değildir. Filament ile wafer arasına bu koruyucu katman eklenmesi, çıplak lambalara kıyasla biraz daha düşük ısı transfer verimliliğine neden olur. Hedef sıcaklığa ulaşabilmek için muhtemelen gücü artırmanız veya waferin biraz daha uzun süre ısıda kalmasını sağlamanız gerekecek. Unutmayın ki PLC ayarlarınızı doğru yapmalısınız ki sıcaklık limitlerini aşmayın.