Yarı iletkenlerin yıkanma aşamalarındaki “sıcak duvar” sorununu ortadan kaldırmak
Eğer yarı iletken üretim süreçleriyle ilgilenmişseniz, bu sorunun ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Yıkama işlemi sırasında wafer’i ısıtmak gerekiyor; ancak ekipmanın iç kısımlarının yanmasını istemiyorsunuz.
Geleneksel ısıtıcılar aslında ampuller gibidir; ısıyı her yöne yayırlar. Bu da iç duvarların aşırı derecede ısınmasına neden olur. Bu durum enerji israfıdır ve açıkçası, makinenin yakınında çalışan kişiler için ciddi bir güvenlik tehlikesidir.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Yöneltilebilir kızılötesi lambalar.
Nasıl çalışır?
Çoğu kızılötesi lamba ışını tam 360 derece dairesel olarak yaymaktadır. Biz bunu istemiyoruz. Bunun yerine, özel yansıtıcılarla birlikte kullanılan kısa dalga boylu emitörler kullanıyoruz. Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar, yıkama sıvısının içinden geçerek doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Böylece ısı enerjisi tam da gereken yere yönlendirilmiş olur. Böylece wafer üzerinde istenen sıcaklık elde edilir; ancak ekipmanın gövdesi soğuk kalır.
Karmaşayla başa çıkmak
Yıkama aşamaları doğası gereği ıslak ortamlardır. Su ve elektrik bir araya gelmemelidir. Bir arızanın oluşmasını önlemek için elektrik kontaklarına su geçirmez kaplamalar kullanıyoruz. Aksi takdirde nem, terminalleri tahrip eder ve arıza meydana gelir. Ayrıca her şeyi kuvars kaplamalarla sarıyoruz. Bunlar dayanıklıdır ve kimyasal buharlara ve ara sıra meydana gelen sıçramalara karşı dayanıklıdır.
Zorlayıcı noktalar
Her şey o kadar basit değil. Tüm ısıyı tek bir noktada topladığımız için hassasiyet çok önemlidir. Eğer lambanın konumu birkaç milimetre kadar yanlışsa, wafer üzerinde sıcak noktalar oluşur. Bu bir sorundur.
Bir diğer sorun ise, duvarlar soğuk kalsa da lambanın kendisi inanılmaz derecede ısınır. Eğer soğutma fanları veya ısı dağıtıcıları yeterli değilse, lamba beklenenden daha erken bozulur. En iyi çözüm, bunları PID kontrol cihazlarına bağlamaktır. Bu sayede sıcaklık sabit ve öngörülebilir kalır. Waferleriniz istikrarlı kalır, ekipmanınız soğuk kalır ve operatörler rahatça çalışabilir.