http://ir-heat-beam.com/tr/tags/rtp/ Recent content in RTP on Focused IR Heating Beams Hugo tr Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTP sistemi için halojen lamba"></p> <p>Fab alanında, hızlı termal işlemede termal kayma termal bütçeyi tüketir ve fotoresist profilleri çökme eğilimi gösterir. Wafer seviyesi uniformitesi akademik bir <a href="https://henruite.com">metrik</a> değil—kâr eden bir üretim ile hurda arasındaki çizgidir.</p> <p><strong>Gerçekte önemli olanlar</strong> RTP için kısa dalga çıkışlı ve kuartz zarfı olan halojen lambalar kullanıyoruz çünkü wafer’ı hızlı, yüksek sıcaklığa ve tekrarlanabilir şekilde ısıtıyorlar. Wafer seviyesi uniformiteyi ±0.1°C’de tutabilirsiniz ve hatta hattın 7/24 çalışması durumunda bile sıcaklık stabil kalır. Filaman <a href="https://goldisgood.com">geometrisi</a> ve reflektör yolu, termal profilin partiden partiye tutarlı kalması için ayarlanır. Bu sayede soft bake ve hard bake tarifeye uygun gider, alet kaymasını takip etmek zorunda kalmazsınız.</p>