Yüksek saflıkta kuvars IR lambaları kullanılarak MEMS waferlerinin kurutulmasında sıfır kirlenme sağlanması

Sınıf 100 temiz oda koşullarını korumak Eğer MEMS sensör yüzeylerini kurutuyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu zaten biliyorsunuzdur: Yüzeye...