http://ir-heat-beam.com/tr/tags/uv/ Recent content in UV on Focused IR Heating Beams Hugo tr Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Derin UV (DUV) direnç pişirme lambası"></p> <p>Litografi işlemlerinde hızlı bir şekilde öğrenirsiniz: Hafif veya yoğun fırınlanma işlemleri bile, beklenmedik sonuçlara yol açabilir. Yarım derecelik bir sapma bile kritik boyutları bozabilir; ayrıca parçacık artışları da iyi durumdaki waferleri aniden işe yaramaz hale getirebilir. DUV direnç fırını, bu tür tahminlerin önüne geçmek için kullanılır.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong><br> Burada bahsedilen şey, wafer seviyesindeki termal homojenlik olup, bu da ±0,1°C aralığında olmalıdır. Bö<a href="https://o-yate.com">ylece</a> fotoresist yüzeyi her <a href="https://o-yate.net">seferinde</a> aynı şekilde kurur. Kısa dalga boyundaki ışınlar ve kuvarsla optimize edilmiş tasarım sayesinde ısı hızlı ve kontrol altında verilir; böylece sıcak noktalar oluşmaz. Ayrıca sistem mimarisi de mükemmeldir; hiçbir parçacık salınımı olmaz, böylece temiz oda koşullarını korumak için ekstra çaba harcamanıza gerek kalmaz.</p>