http://ir-heat-beam.com/tr/tags/wafers/ Recent content in Wafers on Focused IR Heating Beams Hugo tr Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/tr/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Yakın kızılötesi (NIR) wafer kurutucu"></p> <p>300 mm hatlarında, fotoresistin ısıtılması sadece başka bir ısıl işlem değildir; bu, boyutsal doğruluk açısından çok önemli bir adımdır. Eğer yumuşak ısıtma veya sert ısıtma işlemleri ±0.1°C sınırının dışına çıkarsa, kritik boyut kontrolü bozulur. Geleneksel ısı tablaları, waferin kenarlarında tekrarlanabilirlik sorunlarına neden olurken, konvektif fırınlar ise hava yoluyla bulaşmayı mümkün kılar. Class 1–100 temiz odalarda, parçacık üretimi ve beklenmedik arızalar dakikalarca süren duraklamalara neden olmaz; bunun yerine tüm üretim partileri zarar görür.</p> <p><strong>Sistemde önemli olan şeyler</strong><br> NIR wafer kurutucuyu, doğrudan yakın kızılötesi radyasyon kullanarak tasarladık; bu sayede hiçbir hava akışı olmadan yoğun ısıtma sağlanır. Böylece tüm işlem süreci boyunca waferin her yerinde ±0.1°C’lik bir düzenlilik sağlanır ve fotoresistin sıcaklığı da saniyeler içinde belirlenen değere ulaşır. Hareketli hava olmadığı için parçacık oluşumu da <a href="https://o-yate.com">engellenmi</a>ş olur. Odanın içi tamamen kapalı olduğundan, <a href="https://goldisgood.com">waferle</a> temas eden tek şey waferin kendisidir.</p>