Сушарка пластин у діапазоні близького інфрачервоного випромінювання (NIR)

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

На лінії завдовжки 300 мм процедура висушування фотополімеру є не просто ще одним термічним кроком у процесі виробництва. Це ключовий елемент для забезпечення точності розмірів продукту. Навіть найменша похибка у температурі під час процедури висушування може призвести до значних проблем з контролем розмірів продукту. Традиційні нагрівальні платформи створюють проблеми з точністю обробки країв пластини, а конвективні печі сприяють потраплянню забруднень у процес виробництва. У чистих приміщеннях класу 1–100 утворення частинок та непланові зупинки процесу коштують не кількох хвилин – а цілих партій продукції.

Лампа сушарки пластин DNS (екран)

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

На літографічному майданчику відхилення в 1°C у м’якому або твердому випічці не є “маленькою помилкою”. Це вплив на вихід, просто і зрозуміло. Ви спостерігаєте, як вафлі покидають трек з крайовими смугами, нерівностями ширини лінії або розчинником, який ніколи не повністю видалений — залишками, які пізніше проявляються як дефект. Вам потрібне джерело тепла, яке обробляє всю вафлю як одне термічне тіло, а не як мозаїку гарячих і холодних точок.

Інфрачервона точність: субміліметрова однорідність, повторюваність

Лампа сушарки для вафлів DNS побудована на контролюваному нагріванні в ближньому інфрачервоному (NIR) діапазоні, налаштованому для забезпечення субміліметрового однорідного термічного поля по площі вафлі. На практиці це означає стабільну температуру фоторезисту від центру до краю, тому м’яка випічка рівномірно видаляє розчинники, а тверда випічка закріплює профіль резисту — без повторного плавлення чи забруднення.

Dryer on Focused IR Heating Beams

Сушарка пластин у діапазоні близького інфрачервоного випромінювання (NIR)

Лампа сушарки пластин DNS (екран)

Інфрачервона точність: субміліметрова однорідність, повторюваність