http://ir-heat-beam.com/uk/tags/rtp/ Recent content in RTP on Focused IR Heating Beams Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/uk/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Tue, 09 Jun 2026 03:45:28 +0800 http://ir-heat-beam.com/uk/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Галогенна лампа для системи РТП"></p> <p>На виробничій ділянці термічний дрейф у процесі Rapid <a href="https://goldisgood.com">Thermal</a> <a href="https://o-yate.net">Processing</a> (RTP) вирачає тепловий бюджет, і профілі фоторезисту починають деформуватися. Рівномірність на рівні пластини — це не якийсь академічний показник, а межа між прибутковою серією і купою браку.</p> <p><strong>Що насправді має значення всередині</strong></p> <p>Ми задаємо специфікації на галогенні лампи для RTP зі спектром короткохвильового випромінювання та кварцовими колбами, оскільки вони швидко та повторювано розігрівають пластину. Рівномірність температури по пластині можна утримувати в межах ±0.1°C, при цьому температура залишається стабільною навіть при безперервній роботі лінії 24/7. Геометрія нитки і шлях відбивача налаштовані так, щоб тепловий профіль був стабільним з партії в партію. Це дозволяє забезпечити строго задані параметри soft bake і hard bake, замість постійного коригування через інструментальний дрейф.</p>